首先从合成说起，两个原料中硅粉的要求也相当高的，一个是粒度控制，还有是成份控制；另一原料氯化氢的要求，基本是控制含水，最好是小于100PPM，其实氯化氢含水好控制的，一个是液氯汽化加氢气干燥，再上一套硫酸干燥塔，基本上可以解决氯化氢含水问题；合成方面主要是要提高氯化料中三氯氢硅的纯度，这就要看你炉子的结构和你们操作的水平，温度控制的是否适当平稳，氯化氢进炉流量也必须有一定的控制，还有根据炉内情况加入硅粉也是相当重要，只要做到所有操作保证炉内状况不发生大波动的情况下，就可以进入自动操作，这样出来的氯化料保证能在90%左右，这个我实践得已经相当成熟了。合成方面主要的问题是管道的堵，其实一个很好的风冷是一个相当关键的设备，能让你收到很大的收率，不光减轻了水冷堵的问题，而且可以延长深冷的使用寿命。

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